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电脑控制实在简便的操作及数据处理
通过涡电流测量方式实现非破坏性测量
根据测量范围不同可更换5种不同探头
单点中心位置测量
硅晶圆测量温度补偿
样品尺寸:支持3~8寸,或156x156mm(另有2寸,12寸,210x210mm平台可选配)
测量范围:[R] 1m ~ 200 Ω・cm[RS] 10m~3000 Ω/sq
该测量范围由低,中,高,超高阻值的不同测量探头来覆盖