Macro surface inspection system

  • Product No:Stealth
  • Manufacturer:TOHO Electronics Inc.

The system can test the uniformity of the film thickness, micro-lens, and the PSS. The system can scan the scratch and the particle on the film.    


  • Red, Blue, and high bright white light

  • Support SEMI 150-300mm wafer, FPD G10.5 glass, and LED 50-150mm wafer

  • Minimum particle size <28um