美國Nanotronics公司,推出全新的nSPEC系統,依託高品質半導體工業專用顯微鏡,配備高精密移動樣品台,高倍率長距離明暗場聚焦物鏡系統,輔以高清晰CCD模組,組成了測試的硬體平臺,在此基礎上,開發了內置AI演算法的圖像識別系統,可以快速比對識別數千張甚至數萬張晶圓表面的圖像,在數分鐘或數十分鐘內即可檢測得到所需要的各種缺陷圖像,並進行自動分類和識別,形成報表,工程師可以直觀的看到所檢測得到的缺陷在晶圓的位置,大小,形狀等資訊.
特點
高品質工業級顯微鏡系統
高精度自動樣品台
高智慧圖像分析軟體
完美的軟硬體結合
配合不同鏡頭可實現多區域多缺陷測試
可測試各種凹坑,突起以及平面缺陷
可匯出全部資料和圖像
配置
nSpec 晶圓表面缺陷掃描系統,主機
5x 和10x鏡頭,標準配置
可選 50/75/100/150/200 真空樣品台
可選20x鏡頭,50x鏡頭和100x鏡頭
可選單cassette小型取放片機械手
光路系統
LED白光照明
明暗場鏡頭,5x和10x
DIC對比技術
偏振和分析功能
樣品台
200mm, XY移動樣品台
中心負載,5磅最大
重複性,±2um
精密鋁合金板不銹鋼軌道
解析度, ,±2um
樣品盤,2-12inch可選
標準鏡頭
圖元面積,4.54um
圖像尺寸 2552*2200
最大幀率,8fps
控制主機
電腦和搖杆控制
自動聚焦
電腦控制照明,鏡頭的選擇