測試與量測
科研測試與分析
高壓/脈衝源

靜電盤吸附電源

  • 產品型號：640
  • 制造原廠：Trek, Inc.

Trek 640靜電卡盤優化系統，可以對靜電卡盤的波形和電壓進行評估和優化，進而盡量減少去夾時間，最大限度的提高夾緊力，實現對ESC系統的最佳晶片處理。

  • 輸出電壓：0 to ±2kV

  • 輸出電流：0±6.5mA 直流 ，交流10mA

  • 大信號帶寬：DC優於1.2k HZ (1% distortion)

  • 小信號帶寬：DC優於5k Hz (-3dB)

  • 上升速率：15V/us


TRE-640
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