測試與量測
科研測試與分析
高壓/脈衝源

靜電盤吸附電源

  • 產品型號：645
  • 制造原廠：Trek, Inc.　

Trek 645軟件驅動靜電卡盤電源對實際應用可提供非常顯著的優點。有記錄表明，客戶的效率和數量是用其他電源時的三倍。此外，645實際上消除了粘性晶圓片和晶圓片的問題，從而確保了更好地控制粒子汙染。

  • 輸出電壓：0 to ±2kV

  • 輸出電流：0±6.5mA 直流 ，交流10mA

  • DC精度：2%滿量程


TRE-645
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