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Trek 646軟件驅動靜電卡盤電源對實際應用可提供非常顯著的優點。有記錄表明，客戶的效率和數量是用其他電源時的三倍。此外，645實際上消除了粘性晶圓片和晶圓片的問題，從而確保了更好地控制粒子汙染。
輸出電壓：0 to ±3kV
輸出電流：0±6.5mA 直流 ，交流10mA
DC精度：滿量程0.5%
