半自動四點探針Mapping測試儀

  • 產品型號:Cresbox
  • 制造原廠:Napson Corp.

Cresbox是由日本Napson公司推出的桌上型半自動四探針電阻率量測設備。它可以通過電腦進行控制,編輯測試需要測試的矽片大小,測試點位,運用四探針電阻率量測的原理進行多點測量,可以通過軟體輸出2D/3D Mapping圖,更高效的完成測量任務。

·         使用者式設計的量模式和可式設計的量模

·         測試儀功能,量範圍寬

·         片的厚度,邊緣和溫度校正

·         薄膜阻的薄膜厚度轉換功能 

·         應用:半導體材料、太陽能電池材料(矽、多晶矽、碳化矽等),新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、納米銀線等)

                  導電薄膜(金屬、ITO),擴散層,矽相關外延材料,離子注入樣品。

·         有多點測量功能(最大1225),支援Mapping功能,提供2D/3D圖像分析。

·         金屬膜厚換算功能。

·         測試資料可通過CSV格式檔匯出。

·         符合以下ASTM & JIS的要求

        JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994

        < ASTM > 

        ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)

        ASTM f374 -00a,

        ASTM F 390-11,

        ASTM F 1529-97

      


  • 樣品尺寸:
    支持最大8寸,或156x156mm

  • 測量範圍:
    V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω
    方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

    電阻率: 1.0m - 300.0k Ω.cm


Image of Mapping 

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