EC-80是由日本Napson公司推出的手动版涡电流非接触式量测设备。它可以通过手动移片的方式,针对半导体硅片或其他导电材料进行无损非接触式的测量,且具备良好的测试精度及重复性。
緊湊型設計,操作方便
將晶圓放置於探頭下面即自動開始測量
通過JOG旋鈕快速設定測量條件
5個不同測量範圍的型號可供選擇
樣品尺寸:
支持最大8寸,或156x156mm
測量範圍:
電阻率:1m ~ 200 Ω・cm
面電阻: 10m~3000 Ω/sq
該測量範圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋:
低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)
中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)
高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)
超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)