非接觸式面電阻測試儀

  • 產品型號:EC-80
  • 制造原廠:Napson Corp.

EC-80是由日本Napson公司推出的手动版涡电流非接触式量测设备。它可以通过手动移片的方式,针对半导体硅片或其他导电材料进行无损非接触式的测量,且具备良好的测试精度及重复性


  • 緊湊型設計,操作方便

  • 將晶圓放置於探頭下面即自動開始測量

  • 通過JOG旋鈕快速設定測量條件

  • 5個不同測量範圍的型號可供選擇
           


  • 樣品尺寸:
    支持最大8寸,或156x156mm

  • 測量範圍:
    電阻率:1m ~ 200 Ω・cm
    面電阻: 10m~3000 Ω/sq

  • 該測量範圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋:

低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)

中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)

高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)

超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)