非接觸多點面電阻測量系統

  • 產品型號:NC-80MAP
  • 制造原廠:Napson Corp.

NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自動渦電流非接觸式電阻率測量設備。它可以通過電腦進行控制,編輯測試需要測試的矽片大小,測試點位數量,運用渦電流非接觸式的量測原理進行測量,可以通過軟體輸出2D/3D Mapping圖,更高效的完成測量任務。

  • 配備高精度,寬量程的非接觸式渦電流測量探頭

  • 具備Mapping多點量測功能,可顯示2D/3D圖像

  • 最多可量測217點

  • 支持2-8寸樣品

  • 應用:GaAs, GaN, SiC, 金屬薄膜材料等


  • 面電阻測試範圍:0.005 ~ 3000 Ω/sq

探頭類型

- 超低:0.005 ~ 0.01 Ω/sq

- 低:0.01 ~ 0.5 Ω/sq

- 中:0.5 ~ 10 Ω/sq

- 高:10 ~ 3000 Ω/sq

  • 探頭直徑:14mm

  • 探頭間隙:1.7mm ~ 2mm