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WS-8800是由日本Napson公司推出的全自動四探針電阻率矽片分選儀。它運用機械手的傳輸方式,可以通過四探針法測量矽片的電阻率,以及PN型和厚度,為矽片進行分檔歸類,便於客戶的產品規格分類,可以支援多種尺寸的半導體矽片。
電阻率,厚度,P/N極性及溫度測量分選
具備自我測試功能,測量範圍廣
針對矽片電阻率測量,具有厚度/測量點位元及溫度補償功能
Cassette數量可根據客戶要求設計
CIM通信功能,相容SMIF或FOUP
樣品尺寸:3 ~ 8寸 (或 12寸)
測量範圍:[R] 100μ~1M Ω・cm[RS] 1m~10M Ω/sq