全自動四探針矽片分選系統(機械手傳送)

  • 產品型號:WS-8800
  • 制造原廠:Napson Corp.

WS-8800是由日本Napson公司推出的全自動四探針電阻率矽片分選儀。它運用機械手的傳輸方式,可以通過四探針法測量矽片的電阻率,以及PN型和厚度,為矽片進行分檔歸類,便於客戶的產品規格分類,可以支援多種尺寸的半導體矽片。


  • 電阻率,厚度,P/N極性及溫度測量分選

  • 具備自我測試功能,測量範圍廣

  • 針對矽片電阻率測量,具有厚度/測量點位元及溫度補償功能

  • Cassette數量可根據客戶要求設計

  • CIM通信功能,相容SMIF或FOUP
           


  • 樣品尺寸:
    3 ~ 8寸 (或 12寸)

  • 測量範圍:
    [R] 100μ~1M Ω・cm
    [RS] 1m~10M Ω/sq