非接触矽片分选系统(机械手传送)

  • 產品型號:NC-3000R
  • 制造原廠:Napson Corp.

NC-3000R是由日本Napson公司推出的全自動非接觸式矽片分選儀。它運用機械手的傳輸方式,通過量測矽片的電阻率,PN型及厚度,為矽片進行分檔歸類,便於客戶的產品規格分類,可以支援多種尺寸的半導體矽片。


  • 測量精度高,覆蓋大尺寸矽片

  • 非接觸式測量電阻率,厚度及P/N極性

  • 緊湊型設計,具備測量和傳送兩個平臺

  • Cassette數量可根據客戶需求設計

  • 選件:矽片平整度測量(FLA-200)
           


  • 樣品尺寸:
    支持6~8寸,或12寸

  • 測量範圍:
    電阻率 1m ~ 200Ω・cm
    厚度 150 ~ 800μm (300μm 至 150~800μm)

  • 該測量範圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋

    :0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)

    :0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)

    :10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)

    超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)