NC-3000R是由日本Napson公司推出的全自動非接觸式矽片分選儀。它運用機械手的傳輸方式,通過量測矽片的電阻率,PN型及厚度,為矽片進行分檔歸類,便於客戶的產品規格分類,可以支援多種尺寸的半導體矽片。
測量精度高,覆蓋大尺寸矽片
非接觸式測量電阻率,厚度及P/N極性
緊湊型設計,具備測量和傳送兩個平臺
Cassette數量可根據客戶需求設計
選件:矽片平整度測量(FLA-200)
樣品尺寸:
支持6~8寸,或12寸
測量範圍:
電阻率 1m ~ 200Ω・cm
厚度 150 ~ 800μm (300μm 至 150~800μm)
該測量範圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋
低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)
中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)
高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)
超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)