晶圓平坦度量測儀

  • 產品型號:FLA-200
  • 制造原廠:Napson Corp.

FLA-200是由日本Napson公司推出的矽片平坦度測量儀。可以針對不同尺寸的樣品進行整面的掃描,分析,計算出平坦度的各類參數。

  • 可測量厚度,TTV,Bow,區域及整片矽片的平整度(符合ASTM規範)

  • 搭配高精度直徑5mm的電容探頭

  • 可測量材料有矽,砷化鎵,鍺,磷化銦,碳化矽

  • 覆蓋500微米測量厚度,無需重複校準

  • 2-D/3-D測量資料圖譜

  • 資料通過CSV格式檔進行保存及匯出。


  • 樣品尺寸
    3~8 英寸

  • 測量範圍

    厚度: 200 –1200μm
    彎曲度 : +/-350μm
    翹曲度: 350μm