採用分光光譜反射法,利用內置白光光源產生可見光,將可見光利用光柵進行分光後,聚焦成2mm以內的光束,垂直照射在被測樣品,利用CCD探測器獲取反射光譜和透射光譜,並據此計算薄膜厚度.
薄膜厚度測試範圍: 10nm-150um
薄膜厚度測試精度: 0.2nm,NIST標準氧化物薄膜
反射率和透射率測試重複性 0.01%, 600nm時
光譜範圍: 380nm-950nm
測試區域直徑: 1mm
樣品尺寸: 2mm to 300mm standard
光譜解析度: 0.2nm
光源: Regulated tungsten-halogen lamp (10,000 hrs lifetime)
探測器: 3648 pixel Toshiba linear CCD array
測試時間: <1 sec per site (e.g., oxide film)
資料獲取時間: 0.2 sec