FilmTekTM CD光學關鍵尺寸系統是SCI針對1x nm設計節點及更高級別的全自動化，高通量光碟測量和高級薄膜分析的領先解決方案。該系統同時提供即時多層堆疊特徵和CD測量，用於已知和完全未知的結構。
FilmTekTM CD採用專利的多模式測量技術來滿足與開發和生產中最複雜的半導體設計特點相關的挑戰性要求。這項技術能夠測量極小的線寬，在10nm以下的高精度測量。
薄膜厚度範圍：0至150μm
膜厚精度：NIST可溯源標準氧化物的±1.0Å100Å至1μm
光譜範圍：190nm至1000nm（標準為220nm至1000nm）
測量點尺寸：50μm
光譜解析度：0.3nm
光源：調節氘燈鹵素燈（2000小時壽命）
探測器類型：2048圖元索尼線性CCD陣列
電腦：多核處理器與Windows™7作業系統
測量時間：約2秒（如氧化膜）
