標配工作模式:接觸模式、輕敲模式、相位成像模式、抬高模式、橫向力/摩擦力模式、磁力和靜電力模式、力曲線/力譜測量
選配工作模式:Profile 線測量模式,快速獲得納米級的長距離輪廓剖面線圖
AFM 主機:一體式設計,龍門架式掃描頭結構,大理石底座
Z 軸升降裝置:馬達自動控制探針垂直趨近樣品掃描,精確定位掃描區域
樣品移動台:300×300mm 大行程二維電動樣品移動台,快速選擇感興趣的樣品區域
載物台:直徑300mm 帶真空吸附功能的超大樣品載物台
掃描器:100×100um 大範圍高精度閉環平移式壓電掃描器,標準光柵定標精度
電子學控制器:模組化的電子控制器,可終身維護及改進
輔助光學觀察系統:高倍光學定位CCD 觀測系統,即時觀察與定位探針樣品掃描區域
探針及附件:標配接觸探針、輕敲探針、標準光柵樣品及整套專業工具
防震裝置:封閉式金屬遮罩罩,氣動式減震平臺,抗干擾能力強
軟體系統:集成多種工作模式控制軟體,功能強大的分析軟體,可終身免費升級
AFM 掃描範圍:100um×100um×10um
AFM 掃描解析度:XY 向0.2nm,Z 向0.05nm
AFM 掃描速率:0.6Hz~4.34Hz
AFM 掃描角度:0~360°
樣品尺寸:Φ≤300mm,H≤20mm
樣品台移動範圍:300mm×300mm
Profile 線測量長度:1mm
輔助光學定位:10X 物鏡,1um 光學解析度
輔助相機:500 萬圖元數位CCD
減震台:氣動式減震台,減震頻率0.5Hz
噪音水準:<0.1nm
通信介面:USB2.0/3.0
運行環境:運行於Windows98/2000/XP/7/8/10 作業系統