透反射高清金相顯微鏡是針對半導體工業、矽片製造業、電子 資訊產業、冶金工業需求而開發的,作為高級金相顯微鏡用戶 在使用時能夠體驗其超強性能,可廣泛應用於半導體、FPD、 電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具 的檢測。 本儀器採用了落射和透射兩種照明型式,在落射照明下可進行 明暗場觀察和DIC觀察、偏光觀察。在透射光下作明場觀察。 穩定、高品質的光學系統使成像更清晰,襯度更好。符合人機 工程學的設計,使您在工作中感到舒適和放鬆。
高速光譜傳輸技術,實現微秒量級光譜檢測
低雜散技術
全譜段技術,最寬譜段覆蓋範圍達320 ~ 1100nm
紫外敏化技術,實現了深紫外光譜探測
空間解析度:最小5X5um²
光學系統 | 無限遠光學系統,鏡筒透鏡f=200mm |
觀察鏡筒 | 三目鏡筒(帶有0.3XCCD適配鏡) |
目 鏡 | 1、超寬視場平場目鏡WF10X/26mm; 2、WF10X/22mm,帶0.1mm十字分劃板 |
物 鏡 | 超長工作距離平場無限遠明/暗場物鏡:5X/NA0.20(W.D=14.47mm)、10X/NA0.25(W.D=16.0mm)、 20X/NA0.40(W.D=10.5mm)、50X/NA0.55(W.D=5.1mm) |
物鏡轉換器 | 帶DIC插孔的大四孔轉換器 |
載物台 | 精密測量平臺,移動範圍50mmX50mm,精度3u+L/25 |
濾色片 | 濾色片(綠、藍、中性) |
調焦 | 電動調焦 |
光源 | 透射照明: LED燈5W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續可調 反射照明:科勒照明鹵素燈12V50W,寬電壓AC85V—260V,亮度連續可調,帶孔徑光闌和視場光闌 |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度旋轉。起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
檢測工具 | 標準尺規:0.01mm測微尺 |
選購件 | 1、帶測量功能的專業金相圖像分析軟體 2、微分干涉(DIC)裝置 3、超長工作距離平場無限遠明/暗場物鏡:80X/0.75(W.D=4.0mm)、100X/0.80(W.D=3.0mm) 4、300萬圖元、500萬圖元、80萬圖元、 1000萬圖元CMOS 5、數顯光柵尺 6、旋轉工作臺 |