光譜透反射儀

  • 產品型號:FilmTek 1500
  • 制造原廠:Scientific Computing International

採用分光光譜反射法,利用內置白光光源產生可見光,將可見光利用光柵進行分光後,聚焦成2mm以內的光束,垂直照射在被測樣品,利用CCD探測器獲取反射光譜和透射光譜,並據此計算薄膜厚度.    


  • 薄膜厚度測試範圍:  10nm-150um 

  • 薄膜厚度測試精度: 0.2nm,NIST標準氧化物薄膜

  • 反射率和透射率測試重複性 0.01%, 600nm時

  • 光譜範圍: 380nm-950nm

  • 測試區域直徑: 1mm

  • 樣品尺寸:  2mm to 300mm standard

  • 光譜解析度: 0.2nm

  • 光源: Regulated tungsten-halogen lamp (10,000 hrs lifetime) 

  • 探測器: 3648 pixel Toshiba linear CCD array

  • 測試時間: <1 sec per site (e.g., oxide film)

  • 資料獲取時間: 0.2 sec