FilmTek™3000組合反射透射分光光度計提供高效率和準確的傳輸和反射測量沉積在透明基板上的未圖案化的膜。它非常適合測量非常薄的吸收膜的厚度和光學常數。
FilmTek™3000是一個完全集成的套裝軟體，結合了DUV-NIR光纖分光光度計，自動舞臺和先進的材料建模軟體，使得即使是最嚴格的測量任務也可靠和直觀。
薄膜厚度範圍：3nm至150μm
膜厚精度：NIST可追溯標準氧化物的±1.5Å1000Å至1μm
光譜範圍：220nm至1700nm（標準為240nm至1000nm）
測量點尺寸：3mm
樣品尺寸：2mm至500mm
光譜解析度：0.3-2nm
光源：穩定的氘鹵燈（壽命2000小時）
檢測器類型：2048圖元索尼線性CCD陣列/ 512圖元冷卻濱松InGaAs CCD陣列（NIR）
電腦：多核處理器與Windows™7作業系統
測量時間：每個網站<1秒（例如氧化膜）
