全自動化的光學檢測系統，用於分析不透明，透明和半透明晶圓的缺陷。 nSPEC®通過詳細的報告和繪圖提供快速的量化和缺陷鑒定。
nSPEC®可以成像和分析基板和epi晶圓以及圖案和切塊晶圓以及單個設備。該系統具有多個放大倍數，以充分表徵缺陷的頻率和類型。 nSPEC®還提供完整的晶圓快速掃描和鑲嵌。用戶可以輕鬆定義報告和統計功能。
光路系統
LED白光照明
明暗場鏡頭,5x和10x
DIC對比技術
偏振和分析功能
樣品台
200mm, XY移動樣品台
中心負載,5磅最大
重複性,±2um
精密鋁合金板不銹鋼軌道
解析度, ,±2um
樣品盤,2-12inch可選
標準鏡頭
圖元面積,4.54um
圖像尺寸 2552*2200
最大幀率,8fps
控制主機
電腦和搖杆控制
自動聚焦
電腦控制照明,鏡頭的選擇
