落地一體式設計，遮光罩避免背景光幹 擾，按鍵搭配搖桿操作方便
支援 Windows 系統，中文軟體介面，即時 mapping 圖顯示
提供 CCD 掃描功能，實現晶圓擴張後在藍 膜上的晶粒定位
靈敏的 Edge sensor 設計，極小的針痕並延 長探針壽命
分離式探頭設計方便更換探針
支持探針卡之相關應用
提供即時或延遲打墨功能
高精密馬達驅動，提供穩定安靜的運行環境
提供 TTL、RS232 通訊方式，可搭配各種測試機
另有 Double-side 結構，適合功率半導體雙面元件應用
X/Y軸
架構:高精度循環式滾珠螺桿
行程: 210mmx210mm
解析度:0.5 um
精度:≤ ±7 um
重複性:±4 um
Z軸
架構:步進馬達驅動-線性軸承
行程: 11.5 mm
解析度:1 um
精度:≤ ±2um
重複性:≤ ±4 um
承重:20KG
Theta軸:
可调角度:10度
解析度:0.001度
Chuck盤:
材質:高强度铝合金(表面镀金)
真空開孔:200um孔徑(可特别訂製)
平整度:15um
顯微鏡:
目鏡:20x
物鏡:1x-4.5x
放大倍率: 20x-90x
