為針對 DIODE、MOSFET、IGBT, TVS 等產業元件的晶圓測試。
PEGASUS PG2000D 是一台雙面四線探針結構的探針台,此結構可消除探針平臺上的阻抗問題,
使其對測試結果的影響降到最低,可讓被測元件更接近於工程設計之要求。
· 落地一體式設計,體積輕巧
· 支援 Windows 系統,中文軟體介面,即時mapping 圖顯示
· 按鍵搭配搖杆的簡易操作,輕鬆實現所有測試要求
· 高精密馬達驅動,提供安靜且穩定的運行環境
· 模組化電控機構,易於維修
· 雙面探針結構,改善測試回路阻抗,測試電流可達 30A
· 可點測 3”到 8”晶片
· 可因客戶需求提供客制化的設計
· 提供 TTL、RS232 通訊方式,可搭配各種測試機
· 優越的點測速度及極佳的探針針痕
X/Y軸
架構:高精度循環式滾珠螺桿
行程: 210mmx210mm
解析度:0.5 um
精度:≤ ±7 um
重複性:±4 um
顯微鏡:
目鏡:20x
物鏡:1x-4.5x
放大倍率: 20x-90x
測試平台:
材質:高絕緣人造石頭版
夾片尺寸:3”/4”/5”/6”/8”
旋轉角度:±10.0 度
解析度:0.001 度