雙面半自動探針台

  • 產品型號:PG2000D
  • 制造原廠:Pegasus Instrument Inc.

為針對 DIODEMOSFETIGBT, TVS 等產業元件的晶圓測試。

PEGASUS PG2000D 是一台雙面四線探針結構的探針台,此結構可消除探針平臺上的阻抗問題,

使其對測試結果的影響降到最低,可讓被測元件更接近於工程設計之要求。

·         落地一體式設計,體積輕巧

·         支援 Windows 系統,中文軟體介面,即時mapping 圖顯示

·         按鍵搭配搖杆的簡易操作,輕鬆實現所有測試要求

·         高精密馬達驅動,提供安靜且穩定的運行環境

·         模組化電控機構,易於維修

·         雙面探針結構,改善測試回路阻抗,測試電流可達 30A

·         可點測 3” 8”晶片

·         可因客戶需求提供客制化的設計

·         提供 TTLRS232 通訊方式,可搭配各種測試機

·         優越的點測速度及極佳的探針針痕


X/Y軸 

架構:高精度循環式滾珠螺桿 

行程: 210mmx210mm 

解析度:0.5 um

精度:≤ ±7 um

重複性:±4 um


顯微鏡: 

目鏡:20x 

物鏡:1x-4.5x 

放大倍率: 20x-90x


測試平台:

材質:高絕緣人造石頭版 

夾片尺寸:3”/4”/5”/6”/8” 

旋轉角度:±10.0 度 

解析度:0.001 度