通用型手動探針台
特點:
外觀緊湊，重量輕巧，高性價比
可選配不同探針、樣品測試平台等選件，符合不同器件測試應用
適用於4”以下晶圓測量
適合於科研/研發器件特性分析
應用:
LED晶圓及芯片之光電特性分析
LD/PD等光電器件特性分析
分立器件/MEMS等半導體器件特性分析
其他複合功能材料/陶瓷材料/半導體材料特性分析
技術規格:
• 4”鋁合金鍍鎳載盤
• 2”/3”/4”三真空孔可切換
• X-Y軸移動範圍:4”X4”(10μm解析度)
• Z軸上下調整距離: 10mm
• Theta軸可調(選配)
• 最多支持4個磁吸式探針座
• 尺寸:370mmWx370mmDx450mmH(含顯微鏡)
• 重量:20kg(含顯微鏡)
• 顯微鏡技術規格
目鏡可調倍率:20
物鏡放大倍率:0.67 ~ 4.5
最小可視面積:2.7mm直徑
LED照明光源
• 使用條件:電源:AC 100~240V(50/60Hz)
真空:-250mmHg，7公升/分鐘
附件:
• 磁吸式探針座2個
• 鈹銅針10根
選配件:
• 鍍金載盤
• 高壓探針/高壓載盤
• 微電流探針/電容探針
• 待測物夾具
• 探針卡支架/探針卡
• 變溫載盤(室溫至200°C)
• 防震桌
• 遮光罩
• 真空泵
