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RG-200PV是由日本Napson公司推出的太陽能電池片半自動四點探針面電阻測試儀。專門為太陽能電池片設計方形平臺,具備高速測試樣品的性能。
高測試速度及穩定性
高精度dual config測量方式,具備自我測試功能
適合測量太陽能矽晶圓擴散層,相容厚度為100µm ~ 5 mm
X-Y軸可程式設計多點測試,位移解析度0.1um
擁有Mapping功能,可提供2D/3D測量資料圖譜
樣品尺寸:
最大可支援156 x 156 mm
測量範圍:
1m ohm/sq ~ 10,000k (10M )ohm/sq