NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自動渦電流非接觸式電阻率測量設備。它可以通過電腦進行控制,編輯測試需要測試的矽片大小,測試點位數量,運用渦電流非接觸式的量測原理進行測量,可以通過軟體輸出2D/3D Mapping圖,更高效的完成測量任務。
特點
· 多點測試和圖譜顯示功能;
· 寬範圍和高精度測試能力;
· 標配2inch到8inch的測試能力;
· 軟體提供資料表功能,可以提供SPC統計,有最大,最小,平均值和標準方差值;
· 精密簡約的設計,比前代設備體積大大縮小,測試能力卻成倍提升
· 軟體內置校正功能
· (選配)擴展到全自動測試系統
· (選配)擴展wafer 厚度測試功能
規格
· 標準電阻率測試範圍: 0.01 ~ 3200 ohm/sq
· 高阻測試範圍: 0.01 ~10k ohm/sq
· 超高阻測試範圍: 0.01 ~ 100k ohm/sq
· 探頭直徑:14mm;
· 測試點數: 標準配置217點, 可選999點;
· 測試重複性(1-Sigma,溯源VLSI標準片):
0.04 ohm/sq: 0.1%
0.16 ohm/sq: 0.1%
1.6 ohm/sq: 0.1%
16 ohm/sq: 0.1%
400 ohm/sq: 0.2%
600-1000 ohm/sq: 0.2% - 0.7%
3000 ohm/sq: 1.5%
測試速度
點數 預計時間
5點(-) 17s(±1s)
5點(+) 21s(±2s)
9點(+) 24s(±2s)
17點 45s(±3s)
37點 70s(±3s)
73點 125s(±5s)
121點 195s(±10s)
217點 320s(±10s)
· 面電阻測試範圍:0.005 ~ 3000 Ω/sq
探頭類型
- 超低:0.005 ~ 0.01 Ω/sq
- 低:0.01 ~ 0.5 Ω/sq
- 中:0.5 ~ 10 Ω/sq
- 高:10 ~ 3000 Ω/sq
· 探頭直徑:14mm
· 探頭間隙:1.7mm ~ 2mm