四點探針面電阻值測試系統由5601TSR面電阻測試儀、 QT-50手動測試控制台所組成。本系統利用四點探針原理測量出面電阻值/電阻係數;測量材質為晶圓或ITO膜等材料。
測量尺寸可為晶圓或方形尺寸;不用計算即可直接測量出面電阻值數值Ω/□。系統體積小,重量輕,容易操作,具防靜電功能。可選配QT-60大尺寸手動測試控制台, QT-70自動探針測試台或ST-610A掌上型探頭進行測量。
功能特性:
5601TSR面電阻測試儀
· 最大顯示:150000(表面電阻Ω/□) /33000(一般電阻Ω)
· 取樣速率:4 samples/sec
· 顯示:六位數, 7段LED(14.2mm)顯示
· 超載指示:“00000” 閃爍
· 量程選擇:自動和手動
· 超載保護:AC 330Vrms
· 工作電壓:AC90V~264V, 50/60Hz<15VA
· 操作溫度:0~50℃, RH≦80%
· 通訊介面:RS232, RS485
· 串列傳輸速率:1200/2400/4800/9600/19200/38400/57600/115200
· 尺寸:208mm(長) x 91mm(高) x 280mm(寬)
QT-50手動測試控制台
· 手動機台壓杆臂壓下定位功能,助於檢測
· 針頭壓力:外部加法碼改變壓力50g~500g
· 尺寸:300(長) x 250(寬) x 200(高)mm
· 量測尺寸:半徑150mm,(6inch晶圓)
· 重量:7kg
應用:
· 太陽能光電材料
· 導電高分子材料
· 透明導電薄膜材料
· ITO膜
· 奈米材料
· 小分子有機發光材料
· 高分子有機發光材料
· 生物晶片塗布材料
可提供各式探針台供選擇:
QT-60 手動測試台
· 晶圓尺寸:8”~12” (300mm)
· 方形尺寸:300mm x 300mm
· 尺寸:250(長) x 320(寬) x 170(高)mm
ST-610A 掌上型探頭
· 掌上型,按下握把即可測量
· 針頭高低間距,輕鬆測量
· 尺寸:107mm(高), 直徑:52mm
· 重量:290g
QT-SW 標準電阻 Simulate wafer
· 範圍:200m Ohm to 5K Ohm
· 可依客戶需求訂做任一阻值
· 精度:1%
· 標準片直徑:76mm
· 可由校正單位出據校正報告供追溯