手動式四點探針面電阻值/電阻率測量儀

  • 產品型號:RT-70V series
  • 制造原廠:Napson Corp.

·         整套測量系統由測量主機RT-70V和不用應用的平臺組成

·         測量主機為RT-70V 

   通過旋鈕調整輸入樣品厚度

   主機帶自我測試功能,及自動切換測量檔位功能

·         應用:半導體材料、太陽能電池材料(矽、多晶矽、碳化矽等),新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、Ag納米線等)

                導電薄膜(金屬、離子等),擴散層,矽相關外延材料,離子注入樣品。

·         <測試平臺>

   可根據實際測量應用從下列平臺中選擇
   (1) RG-7C: 自動測量,探頭上下移動
   (2) RG-7S: 測量大尺寸樣品,手動移動探頭位置,探頭自動上下移動
   (3) TS-7D: 掌上型測量探頭  


·         樣品尺寸:
基於所選擇的平臺而定
圓形樣品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm

·         測量範圍:

·         V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω

·         方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

·         電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm