全自動晶圓表面缺陷檢測系統

  • 產品型號:nSpec
  • 制造原廠:Nanotronics Imaging LLC

美國Nanotronics公司,推出全新的nSPEC系統,依託高品質半導體工業專用顯微鏡,配備高精密移動樣品台,高倍率長距離明暗場聚焦物鏡系統,輔以高清晰CCD模組,組成了測試的硬體平臺,在此基礎上,開發了內置AI演算法的圖像識別系統,可以快速比對識別數千張甚至數萬張晶圓表面的圖像,在數分鐘或數十分鐘內即可檢測得到所需要的各種缺陷圖像,並進行自動分類和識別,形成報表,工程師可以直觀的看到所檢測得到的缺陷在晶圓的位置,大小,形狀等資訊.

特點

  • 高品質工業級顯微鏡系統

  • 高精度自動樣品台

  • 高智慧圖像分析軟體

  • 完美的軟硬體結合

  • 配合不同鏡頭可實現多區域多缺陷測試

  • 可測試各種凹坑,突起以及平面缺陷

  • 可匯出全部資料和圖像

配置

  • nSpec 晶圓表面缺陷掃描系統,主機

  • 5x 10x鏡頭,標準配置

  • 可選 50/75/100/150/200 真空樣品台

  • 可選20x鏡頭,50x鏡頭和100x鏡頭

  • 可選單cassette小型取放片機械手


  • 光路系統  

LED白光照明

明暗場鏡頭,5x和10x

DIC對比技術

偏振和分析功能

  • 樣品台

200mm, XY移動樣品台

中心負載,5磅最大

重複性,±2um

精密鋁合金板不銹鋼軌道

解析度, ,±2um

樣品盤,2-12inch可選

  • 標準鏡頭

圖元面積,4.54um

圖像尺寸 2552*2200

最大幀率,8fps

  • 控制主機

電腦和搖杆控制

自動聚焦

電腦控制照明,鏡頭的選擇