UV 紫外光強計

用於高強度Stepper的紫外光和強度能量計 - ASML，尼康，佳能和Ultratech

該儀器設計用於ASML高強度，佳能，尼康和Ultratech高強度晶圓Stepper。基於微處理器的Model 358紫外光強度和能量計能夠測量，存儲和回收九組讀數。讀取365,400,420和436 nm波長的強度，能量和時間（4000 mW /cm²，999.9 mJ /cm²）。

應用
適用於需要精確測量UV能量的各種行業，358型適用於需要可重複，可靠的UV測量的任何應用。

特徵

光刻UV光強度和能量計

型號	317	356	357/457	358/458		459
強度範圍（mw / cm2）	16-1600	0.1-400	16-1600	40-4000	強至6000
能量範圍（mJ / cm2）	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999
時間範圍（秒）	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999	0-9999
波長（nm）（可用其他波長）	310, 365 380, 400, 436	220, 254 260, 310, 365, 380, 400, 420, 436, 540	365, 400 420, 436	365, 400 420, 436	365, 400 420, 436
準確性	± 3	± 3	±3.0（WB） ±1.5（NB）	±3.0（WB） ±1.5（NB）	±3.0
線性（％）	2	2	2	2	2
可用於：	掩膜光刻機	所有掩膜光刻機	標準ASML，Nikon GCA，Canon，Rudolph Technology Stepper	高強度Stepper	極高強度的Ultratech Stepper
計算值	可計算平均能量;最多9個通道的能量，強度和時間偏差百分比
I/O	有列印，通道選擇，啟用，探針和波長檢查
電源	110/220 VAC，50/60 Hz，可充電6伏電池（自動關閉）
體積	（釐米）30.5 寬×12.7 高×22.9 深（英寸）12.0 寬×5.0 高×9.0 深
重量	大約3.6 kg (8.0 lbs)

Model 358