8”半自動晶圓探針台

  • 產品型號:S200
  • 制造原廠:Wentworth Laboratories

Pegasus™s200 晶圓探針台專為廣泛的半導體 (包括半導體、發光二極體 (led) 和微機電系統 (mems) 器件) 的生產探測而設計。 它也被強烈推薦用於表徵應用, 並設計用於處理 2 "至200mm 的全晶片和部分晶片。天馬™s200 為特定應用提供可調節的快速探測。 探頭可以使用懸臂式探頭卡或使用 佩加什™探頭集成晶圓邊緣/高度感應器進行。天馬 ™探針是一種完全可調的手動探針座, 內置高度檢測、邊緣感應、快速更換探針和可調節的壓力設定。 此外, 各種標準和定制的載盤可用於各種應用

  • 探針移動速度可達 100mm/秒

  • TTL、乙太網 (10baset)、RS232 和 IEEE 488通訊模式

  • 輕鬆集成CCD和其他外部測試設備元件

  • 使用 天馬™遠端命令的遠端控制

  • 使用 天馬™探頭進行有源晶片分析

  • 半自動兩點晶圓對齊, 減少設置時間 雙面探針模式可支付200mm 晶圓

  • 獨特的探針臂和探針頭設計和懸臂式探針卡

  • 可調節晶圓尺寸載片台

  • 探針壓力可調及和速度可調

載片平臺

x-y平臺

高精度滾珠絲杠和步進電機

  • 行程 210x210 毫米

  • 解析度 1.25 微米

  • 重複 ±4.0 微米

  • 精度 ±7.0 微米

  • 平整度 8μm

  • 最大速度 100mm/秒

Z平臺

精密滾珠絲杠和步進電機

  • 行程 11毫米

  • 解析度 1微米

  • 重複 ±1.0μm

Θ平臺

  • 行程 ±8.0°

  • 解析度 0.000°

探针平台

  • 驅動類型 手動

  • Z行程 11.5 毫米

  • 材料 鍍鎳鋼

圖形化使用者介面

  • Windows 7、8.1 和10

通信介面

  • PC TTL, RS 232,GPIB (IEEE488.2)乙太網

動力

  • 供電 100-240 VAC 50/60 HZ 自動選擇600VA

  • 真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分鐘)

  • 壓縮空氣 4帕/分鐘

外形尺寸

  • 探針台(不包括光學部分) 572x700x300mm 

  • 控制器 450x480x180mm 

重量

  • 探針台 45公斤

  • 控制器 13千克