Pegasus A200D 系列在一個緊湊且便於使用的全自動探測平臺中, 可同時對多達8英寸的晶圓進行雙面探測。
Pegasus A200D 採用專有的晶圓環夾緊夾頭, 可從兩個載盒中抓取晶圓, 每個載盒包含25個晶圓片。
Pegasus A200D 具有高度先進的上、下探頭臂卡尺, 可通過多個針探卡控制同時接觸晶圓的頂部和底部。
Pegasus A200D 系列探頭通過專有的 拉比圖特姆 控制和監視軟體提供功能表驅動或按鈕控制。
可支援最大8英寸的晶圓進行雙面探測
功能強大、方便使用的控制和監視軟體
探針的高度控制及預設針載
影響定位識別系統
機械手取片系統
可提供5KV以上的高電壓測試, 適用于特殊應用
探针台
XY平台
类型：高精度滚珠丝杠
平台行程210毫米 x210 毫米 (8.3 "x 8.3")
分辨率1.25 微米
精度±7微米超过200mm
重复性±4μm
Xy移动速度高达 100 mm/s
自动对齐重复性±5μm wafer 处理
速度：1270毫米/秒(r), 254 mm/25秒(z), 800度/秒 (Ø)
定位重复性： 12.7 微米 (z), 38.1 微米 (r) 恒溫下 0.01° (Ø)
平整度：可选择
定位精度： ±63.5 微米±0.125 度
重复性：±4μm
XY移动速度高达 100 mm/s
