8 "半自動高壓晶圓探針台

  • 產品型號:S200FA-HV
  • 制造原廠:Wentworth Laboratories

Wentworth Pepasus S200FA-HV探針台非常適合測試功率器件, 並且可以很容易地與各種測試儀器集成。 

Wentworth’s Pepasus S200FA-HV 平臺提供了一種靈活的晶圓自動測試解決方案, 專注于大功率半導體特性. 

Wentworth’s pepasustm S200FA-HV 高功率配置以低接觸方式解決了當今的功率半導體測試挑戰電阻測量需要在高電壓下進行精確測量。 高電流探頭和探針卡 (高達 100A) 處理和分配過大的電流負載。 專用的HV & HC 探頭可減少高電壓電流下的探頭和設備破壞, 以防止設備在尖端產生打火現象。

  • 直流和脈衝的大電流探針。

  • 開爾文式測量 (源和載片台)。

  • 低電阻背面接觸 (德萊德克)

  • 可處理薄片晶圓

  • 低漏電/高壓

  • 高電流/高壓測量下的安全性

  • 電壓: 3kv (三˙軸), 10kv (同軸)電流: 200 A (脈衝)

  • 漏電: < 1A(3kv) 高電壓-溫度開爾文式載片台規格 

  • 溫度穩定性±0,1°C

  • 溫度精度±0,5°C

  • 絕緣性 > 0.5 托姆@ + 25°C

  • 電容: 1600pf (標準) 200 f F(三軸)

  • 最大電壓: 10kv @ 載片台

  • 漏電: < 1A (3kv) 高壓探針漏電與溫度關係

  • + 25°C < 200Pa

  • + 200°C < 200Pa

探針台

精密滾珠絲杠和步進電機

  • 旅行 310x400 毫米

  • 解析度 0.312 微米

  • 重複 ±4.0 微米

  • 精度 ±5.0 微米

  • 平整度 8μm

  • 最大速度 100mm/秒

Z平臺

精密滾珠絲杠和步進電機

  • 行程 11毫米

  • 解析度 0.156 微米

  • 重複 ±1.0μm

  • 行程 ±8.0°

  • 解析度 0.0001 °

可程式設計顯微鏡

步進電機

  • 行程 50毫米 x50 毫米 x100 毫米

  • 解析度 0.15 微米

  • 重複 ±1.0μm

  • 精度 ±2.5μm

探针平臺

驅動類型 步進電機

  • Z平臺 18毫米

  • 材料 鍍鎳鋼鍍鋼

圖形化使用者介面

  • Windows7、8.1 和10

通信介面

  • PC TTL RS232,GPIB(IEEE488.2)乙太網

廠務

  • 供電 100-240 vac 50/60 hz 選擇600VA

  • 真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分鐘)

  • 壓縮空氣 4帕/分钟

外形尺寸 

  • 探針台(不包括光學) 880x875x610mm

  • 控制器 450x480x180mm 

遮罩

  • 光遮罩 > 120 分貝

  • 電磁遮罩 > 20 分貝 0.5-0.5 ghz, 30 d0.5-3ghz

重量

  • 探針台 131公斤