pegasus™s300 晶圓探針台是一款經濟的半自動探頭, 用於將全部和部分晶圓測試到 300 mm, 對於低體積探測、設計驗證、故障分析和探測封裝元件特別有效。
pegasus™s300 晶圓探頭具有精確的解析度和可重複的精度。 其模組化設計可滿足廣泛的生產力提升和現場可升級選項。 探測是通過探針卡或微探針座完成的。
pegasus™s300s 的機械結構、顯微鏡安裝和多個程式控制探頭都可以通過操縱杆進行控制。
pegasus™s300 探頭系統也可以使用所有業界認可的通訊協定進行控制。
TTL、乙太網 (10baset)、RS232 和 IEEE 488通訊模式 輕鬆集成C CD和Wentworth 實驗室™ 控制和監視軟體
遠端鍵盤, 易於操作
可用於輔助探測的各種附加元件
電動平臺用於控制探針卡上下移動保證安全性
半自動兩點晶圓對齊, 減少設置時間
模組化設計, 可輕鬆進行現場升級
載片平臺
x-y平臺
高精度滾珠絲杠和步進電機
行程310x310 毫米
解析度1.25 微米
重複±4.0 微米
精度±7.0 微米
平整度8μm
最大速度100mm/秒
Z平臺
精密滾珠絲杠和步進電機
行程11毫米
解析度1微米
重複±1.0μm
Θ平臺
行程±8.0°
解析度0.000°
探针平台
驅動類型手動
Z行程11.5 毫米
材料鍍鎳鋼
圖形化使用者介面
Windows 7、8.1 和10
通信介面
PCTTL, RS 232,GPIB (ieee488.2)乙太網
動力
供電100-240 VAC 50/60 HZ 自動選擇600VA
真空0.5 cfm @ 20 "hg (分鐘)
壓縮空氣4帕/分鐘
外形尺寸
探針台(不包括光學部分) 888x900x830mm 35x35.4x32.6 "
控制器450x480x180mm 17.5x19.5x7 "
重量
探針台100公斤
控制器13千克
