8 "全自動晶圓探針台

  • 產品型號:A200
  • 制造原廠:Wentworth Laboratories
  • pegasus A200 系列晶圓探針台通過專有的 labmaster™控制和監視軟體提供功能表驅動的按鈕控制,廣泛的控制和監測參數使使用者能夠以最佳性能操作 

  • pegasus A200 系列晶圓探振泰 包括: 即時監控和測試設定,高級mapping能力,圖像分析,和許多其他高級功能。

  • pegasus A200 系列晶圓探針台實現兩端平行處理晶圓定位和晶圓取片, 以實現最大的效能。 

  • pegasus A200 專為在手動裝載和卸載晶圓時易於訪問而設計, 可容納兩個載盒, 每個載盒包含25個晶圓片。 

  • pegasus A200 晶圓探針台具有高度先進的單片晶圓檢測預對準和傳輸系統, 可確保長期的精度和可重複性。


  • 適用于各種晶圓材料 (如 GaAs,藍膜盤,陶瓷) 的各種處理能力

  • 功能強大、方便使用的控制和監視軟體

  • 模式識別系統

  • 機械手結構處

  • 可配置為超過5千伏的高電壓, 適用于特殊應用

  • 可選的溫度載片盤 功能表驅動, 按鈕控制。

  • 即時監控和測試設定。

  • 所測試的晶圓和批次的良率分析 高級mapping功能。

  • 探針直接對位藍膜上的晶片

探针台

XY平台

  • 类型:高精度滚珠丝杠

  • 平台行程210毫米 x210 毫米 (8.3 "x 8.3")

  • 分辨率1.25 微米

  • 精度±7微米超过200mm

  • 重复性±4μm

  • Xy移动速度高达 100 mm/s

  • 自动对齐重复性±5μm wafer 处理

  • 速度:1270毫米/秒(r), 254 mm/25秒(z), 800度/秒 (Ø)

  • 定位重复性: 12.7 微米 (z), 38.1 微米 (r) 恒溫下 0.01° (Ø)

  • 平整度:可选择

  • 定位精度: ±63.5 微米±0.125 度

  • 重复性:±4μm

  • XY移动速度高达 100 mm/s