Pegasus A200D 系列在一個緊湊且便於使用的全自動探測平臺中, 可同時對多達8英寸的晶圓進行雙面探測。
Pegasus A200D 採用專有的晶圓環夾緊夾頭, 可從兩個載盒中抓取晶圓, 每個載盒包含25個晶圓片。
Pegasus A200D 具有高度先進的上、下探頭臂卡尺, 可通過多個針探卡控制同時接觸晶圓的頂部和底部。
Pegasus A200D 系列探頭通過專有的 拉比圖特姆 控制和監視軟體提供功能表驅動或按鈕控制。
可支援最大8英寸的晶圓進行雙面探測
功能強大、方便使用的控制和監視軟體
探針的高度控制及預設針載
影響定位識別系統
機械手取片系統
可提供5KV以上的高電壓測試, 適用于特殊應用
探针台
XY平台
类型:高精度滚珠丝杠
平台行程210毫米 x210 毫米 (8.3 "x 8.3")
分辨率1.25 微米
精度±7微米超过200mm
重复性±4μm
Xy移动速度高达 100 mm/s
自动对齐重复性±5μm wafer 处理
速度:1270毫米/秒(r), 254 mm/25秒(z), 800度/秒 (Ø)
定位重复性: 12.7 微米 (z), 38.1 微米 (r) 恒溫下 0.01° (Ø)
平整度:可选择
定位精度: ±63.5 微米±0.125 度
重复性:±4μm
XY移动速度高达 100 mm/s