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德技科技股份有限公司-產品信息
半導體/III-V族檢測設備
其他半導體檢測製程設備
全自動光學檢測系統(Automated Optical Inspection system)
產品名稱: Nanotronics全自動光學檢測系統 nSpec
產品型號: nSpec
製造原廠: Nanotronics Imaging LLC
詳細規格 聯絡我們
產品介紹:
  • 高端全自動微觀檢測系統,可應用於材料科學與生命科學
  • 可適用透明及半透明wafer缺陷檢測
  • 整片Mapping并生成報告
  • 超高解析度納米級圖像顯示
  • 可集成AFM
  • 50~300mm晶圓表面缺陷檢測
  • 結合AFM系統,可檢測原子等級缺陷
  • 可以自我學習辨認Golden Die
  • 可自訂任何缺陷