English
繁體中文
Trek 640静电卡盘优化系统,可以对静电卡盘的波形和电压进行评估和优化,进而尽量减少去夹时间,最大限度的提高夹紧力,实现对ESC系统的最佳晶片处理。
输出电压:0 to ±2kV
输出电流:0±6.5mA 直流 ,交流10mA
大信号带宽:DC优于1.2k HZ (1% distortion)
小信号带宽:DC优于5k Hz (-3dB)
上升速率:15V/us