静电盘吸附电源

  • 产品型号:640
  • 制造原厂:Trek, Inc.

Trek 640静电卡盘优化系统,可以对静电卡盘的波形和电压进行评估和优化,进而尽量减少去夹时间,最大限度的提高夹紧力,实现对ESC系统的最佳晶片处理。

  • 输出电压:0 to ±2kV

  • 输出电流:0±6.5mA 直流 ,交流10mA

  • 大信号带宽:DC优于1.2k HZ (1% distortion)

  • 小信号带宽:DC优于5k Hz (-3dB)

  • 上升速率:15V/us