静电盘吸附电源

  • 产品型号:646
  • 制造原厂:Trek, Inc.

Trek 646软件驱动静电卡盘电源对实际应用可提供非常显著的优点。有记录表明,客户的效率和数量是用其他电源时的三倍。此外,645实际上消除了粘性晶圆片和晶圆片的问题,从而确保了更好地控制粒子污染。

  • 输出电压:0 to ±3kV

  • 输出电流:0±6.5mA 直流 ,交流10mA

  • DC精度:满量程0.5%