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APS 80 HV全自动高压探针台是一款针对 2“-8”高压大电流晶圆批量测试,应用于GaAs,陶瓷,硅片,上膜晶圆,Taiko晶圆,功率芯片的点测
低接触阻抗
大电流测试(高至200A)
大电压测试 (高至 10,000V)
安全防护锁功能
可连接 Agilent’s B1505A功率分析仪/ LEMSYS IGBT静态测试仪
-55C到200C变温chuck
特制的chuck专门针对taiko晶圆