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四点探针面电阻值测试系统由5601TSR面电阻测试仪、 QT-50手动测试控制台所组成。本系统利用四点探针原理量测出面电阻值/电阻系数
量测材质为晶圆或ITO膜等材料
量测尺寸可为晶圆或方形尺寸
不用计算即可直接量测出面电阻值数值 Ω/□
系统体积小,重量轻,容易操作,具防静电功能
可选配QT-60大尺寸手动测试控制台, QT-70自动探针测试台或ST-610手持式探头进行量测