Trek Model 640靜電吸盤電源供應器具有顯著的優勢和功能，可滿足各種苛刻要求的應用場合。從已記錄的用戶使用情況可看出，用戶使用我們設備的效率可達到使用其他電源的三倍。此外，640基本解決了粘性晶圓和晶圓爆裂問題，從而確保更好地控制顆粒汙染。
鑒於640型的多功能性和以及優異性能，壹臺設備滿足多種獨特的工具/工藝流程。因此無需再為不同工藝中搭配不同應用場合的電源。
典型應用包括
l 材料的靜電驅動處理
l 半導體晶圓加工
l 非機械轉移的平板或其他加工材料的機械切割
特點和優點
l 使自定義波形的創建變得簡單而強大, 從而生成用戶可以預見的最復雜的波形
l 該產品的軟件通過任意數據輸入、預編程波形或 companyspecific CSV 文件接受參數
l 實用程序通過三個單獨編程的階段增強, 以建立波形: (1) 鉗位信號階段, (2) 處理信號階段 (可配上選件實現 "循環" 周期), 和 (3) 脫鉗階段
l 測試數據以數字和圖形格式記錄並呈現在彩色顯示屏上
l 圖表還可用於診斷 ESC 操作中的機械和電氣問題
l 每臺設備提供NIST可溯源校準證書
l CE標準
Model 640 規格參數
輸出
輸出相位
相位A輸出電壓範圍：0 to ±2 kV DC or peak AC (4 kV p-p)
相位A輸出電流範圍：0 to ±5 mA DC or peak AC (10 mA p-p)
相位B輸出電壓範圍：0 to ±2 kV DC or peak AC (4 kV p-p)
相位B輸出電流範圍：0 to ±5 mA DC or peak AC (10 mA p-p)
放大參數（每相）
大信號帶寬 (1% distortion)：DC to greater than 1.2 kHz
小信號帶寬 (-3 dB)：DC to greater than 5 kHz
轉換速率：優於 15 V/µs
穩定時間：少於 300 µs（ 0 ~ 2 kV 上升梯度)
直流精度：優於滿量程的 0.1%
偏置電壓：少於500 mV
輸出噪聲：少於 100 mV rms*
隨時間偏移度：少於 100 ppm/hour, noncumulative
隨溫度偏移度：少於 350 ppm/°C
輸出電壓監控 (端口在背後板)
隨時間偏移：少於 350 ppm/°C
特點
鉗位檢測特性（閾值由程序設定）：
為了確認夾緊晶片, 在相位 a 和 B 相位輸出中, 由低壓正弦波產生的電容電流被監視, 但可以通過該程序進行禁用。疊加波形用於表示無晶片、矽片存在或晶片夾緊狀態
