English
简体中文
Trek 640靜電卡盤優化系統,可以對靜電卡盤的波形和電壓進行評估和優化,進而盡量減少去夾時間,最大限度的提高夾緊力,實現對ESC系統的最佳晶片處理。
輸出電壓:0 to ±2kV
輸出電流:0±6.5mA 直流 ,交流10mA
大信號帶寬:DC優於1.2k HZ (1% distortion)
小信號帶寬:DC優於5k Hz (-3dB)
上升速率:15V/us