NC-10是由日本Napson公司推出的手動版渦電流非接觸式量測設備。它通過手動上片的方式,進行中心固定一點的量測,平臺可根據樣品大小進行設計定制,具備較高的測量精度和重複性。
通過電腦進行控制及資料處理
利用渦電流原理實現非破壞性測
針對半導體矽片可提供溫度補償功能
應用:半導體材料, 外延及離子注入材料, 太陽能電池材料, 導電薄膜, 化合物半導體, 新型材料等
樣品尺寸:
支持3~8寸,或156x156mm
(可選配2~12寸,210x210mm的平臺)
測量範圍:
電阻率: 1m ~ 200 Ω・cm
面電阻: 10m~3000 Ω/sq
該測量範圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋:
低:0.01 - -0.5 Ω/sq(0.001 - -0.05 Ω.cm)
中:0.5 -10 Ω/sq(0.05 -0.5Ω.cm)
高:10 - 1000 Ω/sq(0.5 - 60 Ωcm)
超高:1000 - 3000 Ω/sq(60 - 200 Ω.cm)