手動式四點探針面電阻值/電阻率測量儀

  • 產品型號:RT-70V series
  • 制造原廠:Napson Corp.

RT-70V是由日本Napson公司推出的桌上型手動四探針電阻率量測設備。它運用四探針電阻率量針對半導體及其他導電材料進行測量,同時根據各種不同的需要,配備了多款不同的測試平臺以便供客戶選擇。

  • 整套測量系統由測量主機RT-70V和不用應用的平臺組成

  • 測量主機為RT-70V 

   通過旋鈕調整輸入樣品厚度

   主機帶自我測試功能,及自動切換測量檔位功能

  • 應用:半導體材料、太陽能電池材料(矽、多晶矽、碳化矽等),新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、Ag納米線等)

                導電薄膜(金屬、離子等),擴散層,矽相關外延材料,離子注入樣品。

  • 測試平臺

   可根據實際測量應用從下列平臺中選擇
   (1) RG-7C: 自動測量,探頭上下移動
   (2) RG-7S: 測量大尺寸樣品,手動移動探頭位置,探頭自動上下移動
   (3) TS-7D: 掌上型測量探頭


       


  • 樣品尺寸:
    基於所選擇的平臺而定
    圓形樣品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm

  • 測量範圍:

  • V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω

  • 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

  • 電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm