WS-3000是由日本Napson公司推出的全自動四探針電阻率量測設備。它可以支援FOUP/SMIF等上下料方式，具備GEM/SECS通信功能，實現半導體工廠全自動測試的需求。可以支援多點量測，輸出2D/3D Mapping圖等自動化功能。
高性能全自動晶圓電阻率測試系統
具備距邊1mm的量測能力
相容FOUP/SMIF,具備GEM/SECS通信
可根據不同樣品自動切換4種不同規格的探頭
特點
自動探頭選擇（轉換器）在4種探頭之間[不需要通過每個不同的樣品測量來交換探頭]
邊緣1mm測量可通過雙回路測量模式獲得
高速測量
高性價比
相容FOUP，相容GEM / SECS
樣品尺寸：300mm(可選具備200mm)
測量範圍：方阻: 1m~10M Ω/sq (可選配達到最大 1G Ω/sq)
重複性：CV≤ 0.17%
Image of Mapping
