非接触式晶圆分选系统(传送带方式)

  • 產品型號:NC-6800
  • 制造原廠:Napson Corp.

NC-6800是由日本Napson公司推出的全自動非接觸式矽片分選儀。它運用皮帶式的行進方式,可以通過量測矽片的電阻率,PN型及厚度,為矽片進行分檔歸類,便於客戶的產品規格分類,可以支援多種尺寸的半導體矽片。


  • 非接觸式測量電阻率,厚度及P/N極性

  • Cassette數量可按客戶需求設計

  • 渦電流方式測量電阻率,電容法測量矽片厚度

  • 具備溫度補償功能
           


  • 樣品尺寸:
    3 ~ 8 寸

  • 測量範圍:
    電阻率: 1m ~ 200 Ω.cm
    厚度: 150 ~ 1200 μm

  • 電阻率測量範圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋

低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)

中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)

高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)

超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)