表面缺陷宏觀檢測系統

  • 產品型號:Stealth
  • 制造原廠:TOHO Electronics Inc.

對基板整體進行高精度,快速檢查    

Stealth300V採用線型LED光源照射基板/薄膜表面,並使用超高感度攝像頭掃描來自被測物的正反/散射光線,攝取整體圖像,然後通過圖像分析對表面缺陷進行檢出。    

相對以往的局部檢測設備,Stealth可以更高速更全面檢出各種表面缺陷。    

本設備適用於各種薄膜在各種工藝段後的品質檢查。如光刻膠,PI薄膜等的曝光MURA,殘渣MURA。此外還能對Micro LensLEDPSS高度進行整體檢查。 

測試對象:光刻膠MURA    

                    列印殘膜MURA    

                    LED PSSMURA    

                    Color Filter MURA等等


基板尺寸: G6~G10.5玻璃    

攝像頭:線型感測器攝像頭    

光源:LED    

檢查方法:利用正反射/散射兩種方法檢出    

測定時間:1/1分鐘以內(圖像分析時間除外)    

可採用紅,藍,及白光    

支援SEMI 150-300mm晶圓,FPD G10.5以下,或LED 50-150mm晶片    

最小可檢測顆粒大小28um