對基板整體進行高精度,快速檢查
Stealth300V採用線型LED光源照射基板/薄膜表面,並使用超高感度攝像頭掃描來自被測物的正反/散射光線,攝取整體圖像,然後通過圖像分析對表面缺陷進行檢出。
相對以往的局部檢測設備,Stealth可以更高速更全面檢出各種表面缺陷。
本設備適用於各種薄膜在各種工藝段後的品質檢查。如光刻膠,PI薄膜等的曝光MURA,殘渣MURA。此外還能對Micro Lens和LED的PSS高度進行整體檢查。
測試對象:光刻膠MURA
列印殘膜MURA
LED PSS高MURA
Color Filter MURA等等
基板尺寸: G6~G10.5玻璃
攝像頭:線型感測器攝像頭
光源:LED
檢查方法:利用正反射/散射兩種方法檢出
測定時間:1片/1分鐘以內(圖像分析時間除外)
可採用紅,藍,及白光
支援SEMI 150-300mm晶圓,FPD G10.5以下,或LED 50-150mm晶片
最小可檢測顆粒大小28um