RT-3000/RG-1000F是由日本Napson公司推出的全自動液晶面板四探針法面電阻測試儀。它通過機械手的方式進行傳輸玻璃,運用電腦控制機台對玻璃基板上多點的面電阻測量,並可提供2D/3D Mapping圖,並具備非常好的測試精度及重複性。
· 全自動機械手上下料大尺寸平板測量系統具有自我測試功能,測量邊緣修正功能,測試量程範圍廣
· 可自行配備玻璃Cassette
· 最小0.1mm測量解析度,用戶可程式設計測量點位
· CIM通信方式,2-D/3-D測量資料圖譜
· 可選配非接觸式渦電流探頭針對ITO及金屬薄膜材料量測
· 可選配非接觸式膜厚,穿透率功能,也可增加接觸角測試功能
· 樣品尺寸:
最大可以支援到 1,500mm x 1,850mm
· 測量範圍:
1. RT-3000(S);
面電阻: 1m~10M Ω/sq
2. RT-3000(H);
面電阻: 10m~1GΩ/sq