全自動非接觸電阻值測量系統

  • 產品型號:NC-60F / RS-1300N
  • 制造原廠:Napson Corp.

NC-60F/RS-1300是由日本Napson公司推出的全自動液晶面板渦電流非接觸式面電阻測試儀。它通過機械手的方式進行傳輸玻璃,運用電腦控制機台對玻璃基板上多點的面電阻測量,並可提供2D/3D Mapping圖,運用非接觸式的渦電流測量技術,具備良好的測試精度及重複性。

  • 全球平板顯示器行業針對非接觸式測量ITO和金屬薄膜的標準機台
  • 測量探頭可在X-YZ軸全自動移動
  • 可相容機械手實現自動上下片
  • 可集成其他多功能量測部件(如膜厚測量等)
  • 可增加四探針測量模組:RT-3000    


  • 樣品尺寸:

  • 支持最大2,880 x 3,080mm

  • 測量範圍:
    [RS]
    <1. ITO薄膜>  5~800 Ω/sq
    <2. 金屬薄膜> 10m ~ 10Ω/sq
    [ITO薄膜厚度] 20 nm (200A)~500 nm (5,000A)