Trek 1100TN靜電力顯微鏡(EFM)使電壓分佈的測量具有非常高的空間解析度-10μm遠遠超出典型的靜電電壓表的能力。與在大氣條件下操作的掃描探針顯微鏡相比，Trek的EFM還可以測量更大的表面積的電壓分佈。Trek的EFM使用一個回饋電壓到檢測器，它等於測量的電壓，從而防止探測器和測試表面之間的電弧影響。
可以在大氣條件下使用
空間解析度優於10μm
三種測量模式:
——靜態
——譜線輪廓
——三維投影
· 測量範圍:0到±1 kV直流
· 空間解析度(參考輸入電壓與combshaped電極:信號強度10μm寬度的60%
信號強度20μm寬度的70%
· 分離探測器尖端測試和表面(Z軸)與壓電控制階段:通常5μm
· 精度:超過0.5%。
· 電壓靈敏度:大於100mV。
· 採樣速度:30 ms到0.1 ms每個資料樣本。
· 掃描區域
X軸和Y軸: ±15mm，解析度為1μm。
Z軸範圍:0到5mm。
Z軸壓電階段範圍:0到80μm 和1μm準確性
· 光學系統
用於檢測懸臂畸變的鐳射裝置:鐳射二極體670nm帶探測器光電二極體。
觀察實際測量點。
光源:綠色
攝像頭:CCD 380k圖元。
物鏡:10 x鏡頭500μm方形在監控攝像頭
