數位薄膜電阻計

  • 產品型號:5601TSR / QT-50
  • 制造原廠:QUATEK

四點探針面電阻值測試系統由5601TSR面電阻測試儀、 QT-50手動測試控制台所組成。本系統利用四點探針原理測量出面電阻值/電阻係數;測量材質為晶圓或ITO膜等材料。 

測量尺寸可為晶圓或方形尺寸;不用計算即可直接測量出面電阻值數值Ω/□。系統體積小,重量輕,容易操作,具防靜電功能。可選配QT-60大尺寸手動測試控制台, QT-70自動探針測試台或ST-610A掌上型探頭進行測量。

功能特性:

5601TSR面電阻測試儀

·         最大顯示:150000(表面電阻Ω/) /33000(一般電阻Ω)

·         取樣速率:4 samples/sec

·         顯示:六位數, 7LED(14.2mm)顯示 

·         超載指示:“00000” 閃爍 

·         量程選擇:自動和手動

·         超載保護:AC 330Vrms 

·         工作電壓:AC90V~264V, 50/60Hz<15VA 

·         操作溫度:0~50, RH80%

·         通訊介面:RS232, RS485

·         串列傳輸速率:1200/2400/4800/9600/19200/38400/57600/115200

·         尺寸:208mm() x 91mm() x 280mm()

QT-50手動測試控制台

·         手動機台壓杆臂壓下定位功能,助於檢測 

·         針頭壓力:外部加法碼改變壓力50g~500g 

·         尺寸:300() x 250() x 200()mm 

·         量測尺寸:半徑150mm(6inch晶圓

·         重量:7kg


應用:

·         太陽能光電材料 

·         導電高分子材料 

·         透明導電薄膜材料 

·         ITO 

·         奈米材料 

·         小分子有機發光材料 

·         高分子有機發光材料 

·         生物晶片塗布材料

可提供各式探針台供選擇:

QT-60 手動測試台

·         晶圓尺寸:8”~12” (300mm) 

·         方形尺寸:300mm x 300mm 

·         尺寸:250() x 320() x 170()mm

ST-610A 掌上型探頭

·         掌上型,按下握把即可測量 

·         針頭高低間距,輕鬆測量 

·         尺寸:107mm() 直徑:52mm 

·         重量:290g

QT-SW 標準電阻 Simulate wafer

·         範圍:200m Ohm to 5K Ohm 

·         可依客戶需求訂做任一阻值 

·         精度:1% 

·         標準片直徑:76mm 

·         可由校正單位出據校正報告供追溯